洗脱法 编辑

洗脱法洗脱法

洗脱法elution method又称洗提法，淋洗法，冲洗法二样品加在色la柱的一端，流动相连续通过色谱柱固定相，一般是流动相与固定相作用力比样品弱，样品各组分按先后顺序从固定相洗出。绝大多数色谱分离采用洗脱法。洗脱法有等度洗脱和梯度洗脱之分。

洗脱法是在定向自组装工艺中实现中性衬底中部分区域非中性化的一种手段。

图1的“洗脱法”方案是由Tokyo Electron公司和IMEC合作开发，在2012年的SPIE 会议上发布，该方案分主要工艺步骤如下：

  • 1.

    先采用正性浸没式光刻胶在 BARC 层上制作出大尺寸条状结构；

  • 2.

    经过 UV 曝光和烘烤将光刻胶极性反转，使其在后续洗脱中能够溶于TMAH 显影液；

  • 3.

    在光刻胶条状结构上制作一层中性层；

  • 4.

    使用TMAH 将光刻胶条状结构及其上方与侧壁的中性层洗脱，留下覆盖在衬底上的周期性中性层图形，此时被洗去的部分露出非中性的衬底表面；

  • 5.

    旋涂嵌段共聚物；

  • 6.

    退火使嵌段共聚物分相。

    洗脱法洗脱法

    图1 洗脱法

    洗脱法的工艺较为简单，但获得的工艺窗口较小，且缺陷较多，这是由于其衬底表面的不平整引起的 。

    • 洗脱法

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