四氟化碳，又名四氟甲烷，化学式为CF4，它既可以被视为一种卤代烃（有机物），也可以被视为一种无机化合物，常温常压下为无色气体，不溶于水，溶于苯和氯仿，主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。

中文名：四氟化碳

外文名：Carbon tetrafluorideR14

别名：四氟甲烷、全氟甲烷

化学式：CF4

分子量：88.004

CAS登录号：75-73-0

EINECS登录号：200-896-5

熔点：-184 ℃

沸点：-130 ℃

水溶性：不溶

外观：无色气体

安全性描述：S38

危险性符号：F

熔点：-184℃

沸点：-130℃

临界温度：-45.5℃

临界压力：3.74MPa

折射率：1.113（-53ºC）

饱和蒸气压：13.33kPa（-150.7℃）

外观：无色气体

溶解性：不溶于水，溶于苯和氯仿

摩尔折射率：7.3

摩尔体积（cm3/mol）：66.8

等张比容（90.2K）：105.0

表面张力（dyne/cm）：6.0

极化率（10-24cm3）：2.89

疏水参数计算参考值（XlogP）：1.8

氢键供体数量：0

氢键受体数量：4

可旋转化学键数量：0

互变异构体数量：0

拓扑分子极性表面积：0

重原子数量：5

表面电荷：0

复杂度：19.1

同位素原子数量：0

确定原子立构中心数量：0

不确定原子立构中心数量：0

确定化学键立构中心数量：0

不确定化学键立构中心数量：0

共价键单元数量：1

主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。

储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。